ОнVerteq1078234.5.1 1069347.3 Это высокочастотная система согласования импеданса радиочастотного сигнала, разработанная для специализированных применений мегазвуковой очистки в полупроводниковом производстве. Она действует как пассивная балансировочная сеть, расположенная между центральным высокочастотным акустическим генератором и массивом пьезоэлектрических преобразователей, установленных на кварцевых пластинах. Благодаря динамическому согласованию характеристик электрической нагрузки и компенсации реактивного импеданса модуль обеспечивает максимальное преобразование мощности в прямом направлении, поддерживает равномерное распределение акустических волн по резервуарам с технологической жидкостью и защищает сложные электронные драйверы от опасной энергии отраженных волн.

Уровень первичного импеданса:

50 Ом

Спектр резонансных частот:

от 830 кГц до 870 кГц

Условия эксплуатации:

от 15°C до +40°C

Максимальное ВЧ-напряжение (V_RMS):

150–300 В среднеквадратичного значения

Пропускная способность по радиочастотному току (I_RMS):

3А до 8А среднеквадратичного значения

Равномерность акустических волн:Оптимизирует передачу акустической энергии, предотвращая образование локальных «горячих точек» или «мертвых зон» внутри резервуара с химическим раствором и обеспечивая равномерную очистку всей поверхности обрабатываемой поверхности.

Подавление отраженной энергии:Эффективно снижает коэффициент стоячей волны напряжения (КСВН) почти до 1:1, предотвращая превращение возвращаемой энергии в разрушительное тепло внутри расположенного выше по потоку ВЧ-генератора.

Предотвращение повреждения кремниевых пластин:Стабилизирует пороговые значения высокочастотной кавитации, позволяя безопасно удалять субмикронные органические частицы без разрушения хрупких элементов пластины с высоким соотношением сторон.

Коррозионностойкий корпус:Герметично заключено в высокочистые, химически инертные материалы, совместимые с агрессивными химическими средами в чистых помещениях и на лабораторных площадках.