ОнПалл GLFPF3000VMF4Это высокочистый проточный газовый фильтр, разработанный специально для фильтрации в местах использования в технологических газовых линиях полупроводниковой и микроэлектронной промышленности. Он имеет корпус из электрополированной нержавеющей стали 316L с превосходной внутренней поверхностью, предотвращающей осыпание частиц. Внутри находится фильтрующий элемент из фторполимера, обладающий исключительной химической совместимостью с инертными, токсичными и высококоррозионными специальными газами.

у Электрические характеристики: 0 А / 0 В

у Максимальное рабочее давление: 20,7 МПа при 121 °C.

у Максимальная рабочая температура: 121 °C (250 °F)

у Профили дегазации:

у Тип соединения: 1/4" VCR (уплотнительная прокладка)

❖ Производство полупроводниковых пластин: устанавливается непосредственно в местах установки оборудования для удаления субмикронных частиц, загрязняющих критически важные газы, образующиеся в процессе осаждения, травления и фотолитографии.

❖ Шкафы для газов сверхвысокой чистоты (UHP): Встраиваются в коллекторы подачи газа, панели продувки и газовые шкафы, предназначенные для работы с высокореактивными, коррозионными или токсичными газами.

❖ Изоляция контрольно-измерительных приборов в чистых помещениях: защита высокоточных регуляторов массового расхода (РМП), регуляторов давления и аналитических приборов от попадания твердых частиц извне потока.

FS-TSDO-04UNI

F2DO1602

NFBU200-S05 S2

9907-018

FS-IOBUS-CPIO

F8650X

NFCCC01

5438-667

FC-QPP-0001 V1.3

HIMAX X-CPU01

AAI135-H00 S1

5462-916

FC-USI-0001 V1.3

F60CPU03

CP401-10 S1

5464-211

FS-TSGAS-1624

F3 AIO 84 01

NFBU200-S05 S2

5464-334

FS-IOBUS-CPIO

Z7126

NFCP100-S05 S3

5501-380

51305072-600

HIMatrix F35 011 30

PW482-51 S2

8400-016

51196041-100

HIMatrix F35 010 30

ADV551-P50 S2

5437-672