ASML SVG 99-80266-01 — это высокопроизводительная печатная плата промышленного класса для контроллера станции, производимая преимущественно в США. Она разработана специально для устаревших систем нанесения покрытий и проявки в рамках DUV-литографии серии ASML/SVG 90S. Выполняя функции децентрализованного локального блока обработки для конкретных технологических подстанций — таких как модуль нанесения резиста, станция спекания нагревательных плит или станции управления температурой жидкости (FTC) — эта плата управляет критически важными задачами синхронизации. На ней размещены специализированные микросхемы EPROM с предустановленным программным обеспечением для подсистем, регулирующие высокоточную химическую дисперсию и локальные этапы термической обработки на автоматизированной дорожке полупроводниковой пластины.

Носитель информации для прошивки: встроенные микросхемы EPROM с двухрядным подключением к разъемам памяти.

Рабочее напряжение логических шин: +5 В постоянного тока

Питание периферийной шины ввода/вывода: ±15 В постоянного тока или +24 В постоянного тока.

Максимальный потребляемый системой ток: обычно менее 2,5 А.

Диапазон рабочих температур: от 15°C до 55°C

Условия хранения: температура от -20°C до 75°C

AnyBus (Gateway)

Промышленный низкочастотный экран

Модуль дистанционного ввода/вывода (RTU)

Вспомогательные товары для промышленного контроля

Промышленный ПК (IPC)

Человеко-машинный интерфейс

Программируемый логический контроллер (ПЛК)

Жесткие диски малой емкости для промышленного применения SCSI

6ES7314-1AF11-0AB0

6ES5460-4UA11

25X8164C1L 6

IC693ALG391

6ED1052-1FB00-0BA6

6ES5460-4UA12

IC754VSI12CTD-KJ

IC693MDL753

6SL3210-1KE22-6AP1

6GK7342-5DA03-0XE0

IS210BPPCH1ACA

DS200TCEAG1BTF

6ES7307-1EA00-0AA0

6ES7365-0BA01-0AA0

IS200EPSMG1AED

UMT162-A

6ES7313-6CG04-0AB0

6ES7193-4CB30-0AA0

IC752SPL013

IS200TRPGH1BDE

3TK2824-2BB40

6ES7193-4CE10-0AA0

IC693PWR321AA

IS200TRLYH1BGG

6ES7155-6AU00-0CN0

6ES7350-2AH01-0AE0

IS215VPROH1BE

IS200EPSMG1ADC